液晶面板及半導體產業(yè)對生產制造、搬送存儲過程中環(huán)境的潔凈度要求非常高，公司研發(fā)了一系列潔凈環(huán)境專用設備，包括液晶面板垂直輸送機、液晶面板移載輸送機、半導體晶圓盒垂直輸送機、半導體晶圓前端模塊等。
液晶面板移載輸送機
液晶面板垂直輸送機
潔凈升降機是液晶行業(yè)潔凈車間跨樓層所需的垂直輸送系統，通過LFC及PLC控制轎廂升降，實現液晶面板存儲單元跨樓層搬運。
1.升降輸送速度：0~90m/min
2.升降輸送加速度：0.5m/s2
3.最?載重：1500kg
4.設備震動系數：0.3g
5.設備使?環(huán)境：Class10-10000
LUL串接液晶?板??的物料儲存與搬送，通過BC技術控制機器?將基板從儲存單元取出?移載機并輸送到各個制程。
1.裝載卡匣：20~30s
2.退卸卡匣：15~20s
3.最?載重：2000kg
4.設備震動系數：0.3g
5.設備使?環(huán)境：Class10-10000
半導體晶圓盒垂直輸送機
半導體晶圓前端模塊
該產品主要應?于半導體?業(yè)晶圓盒的跨樓層垂直搬送環(huán)節(jié)，占地?積?，成本相較于Tower STK更有優(yōu)勢。
1.升降輸送速度：0~90m/min
2.升降輸送加速度：0.5m/s2
3.最?載重：50kg
4.設備震動系數：0.3g
5.設備使?環(huán)境：Class10-10000
該產品?于半導體?業(yè)晶圓揀選環(huán)節(jié)，集成晶圓?
動尋邊、?精度CCD對位、FOUP?動拆蓋、晶圓?動Mapping及多模式混合排列等功能。
1.晶圓盒開蓋：20~25s
2.晶圓盒關蓋：10~15s
3.最?載重：30kg
4.經過OCR傳?能?：330WPH
5.設備使?環(huán)境：Class10-10000
